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        技術文章

        硬鍍膜的益處

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        硬鍍膜的益處

        傳統的軟鍍膜,一種通常為光學組件鍍膜的技術,可能很快會被一種稱為硬鍍膜的更高性能鍍膜技術所取代。因為相對傳統的軟鍍膜,精細的硬鍍膜具有幾個優點。

        軟鍍膜

        軟鍍膜是多層薄膜,由硫化鋅、冷凍劑、有時甚至是銀組成。對于傳統的干涉濾光片,鍍膜組件被層壓在一個垂直的堆棧中,以提供抵御周圍環境的保護,通常是從較大的晶圓上取下。考慮到所使用的材料和制造工藝,軟鍍膜易碎。鍍膜材料經常被從濾光片的邊緣移除,以避免鍍膜因潮濕而退化,并增加鍍膜的使用期限。圖 1顯示成品的圖表。

        圖 1:具有薄膜鍍膜的傳統干涉濾光片的示意圖

        軟鍍膜的成本是由低成本的沉積設備、快速循環時間和廉價的浮法玻璃基片來保持,但是由于密封和環形組件,操作成本很高。成本與容量比具有漸近趨勢:在低容量的情況下昂貴,只有在幾十個1英寸產品或少量2英寸或尺寸更大產品制作之后才會穩定下來。

        硬鍍膜

        硬鍍膜薄膜是利用等離子沉積過程制作而成的,與軟鍍膜相比,它具有多個優勢。等離子沉積過程是用計算機嚴格控制的,它甚至可以實現分層,擁有良好的環境適應性和更好的性能。例如,作為波長的一個函數,硬鍍膜的透光率不僅更加一致,而且通常高于軟鍍膜的透光率。

        如圖2所示,硬鍍膜在可見光譜和紫外線中具有超過90%的透射率。另一方面,軟鍍膜無法達到90%的透射率,并且性能在紫外線附近顯著下降。此外,起始和截止轉換還有一些改進。軟鍍膜有個漸進的過渡,從沒有透射率過渡到大透射率,而硬鍍膜的過渡更陡。

        圖 2:軟鍍膜和硬鍍膜的性能比較

        比較軟鍍膜和硬鍍膜技術的性能

        屬性

        軟鍍膜

        硬鍍膜

        備注

        工作壽命

        1至5年

        無限期(在正常的操作條件下)

        軟鍍膜更容易受環境因素影響,尤其是高濕度。這些工作壽命是以典型的辦公環境為背景計算的。

        溫度穩定性

        每波長每百萬平均50個部件

        每波長每百萬不到5個部件

        軟鍍膜要求溫度控制在±15°C,1nm的濾光片容差。硬鍍膜在1550nm時不到1pm/°C,遠遠低于1ppm/λ。

        制造可重復性

        *自動的硬鍍膜生產過程可提高重復性。

        透射波長錯誤

        能達到小于λ/4PV值

        能達到小于λ/4PV 值

        硬鍍膜基本有TWE 值,其等于無鍍膜光學元件的值。軟鍍膜在層壓過程后必須經過大量拋光。

        生產成本

        如果大批量生產,成本降低

        由于重復性和自動化過程,成本降低

        可以等于或低于其軟鍍膜的價格大量銷售硬鍍膜。

         表1:軟鍍膜和硬鍍膜的優勢比較

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