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        撥號18861759551

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        技術文章

        標準組件

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        標準組件

        高品質的鏡面基板,玻璃和石英玻璃

        具有公差的PR涂層

        Ø對于R = 10 ... 30%,±2%

        Ø對于R = 30 ... 75%,±±3%

        Ø對于R = 75 ... 90%,±±2%

        Øo±1%,R> 90%

        Ø•開發和生產客戶特定的組件

        圖2:不同AOI(a)下308nm可變衰減器的透射光譜和308nm處透射率與AOI(b)的關系。

        在AOI = 0°時,透射率從T> 85%變化到在AOI = 45°時T = 2±1%(非偏振光)

         

        耐氟腔光學

        圖3:氟化KrF激光鏡(a)和R = 50±3%的輸出耦合器(b)的反射光譜

        •氟化物涂層和CaF2基材,對氟和氯具有較高的穩定性

        •激光鏡(在248nm和308nm處為> 98%,在351nm下R> 96%)

        •高品質的鏡面基板,窗戶和CaF2透鏡(248nm準分子級或紫外線質量,肖特公司)

        •具有公差的PR涂層

        對于R = 10 ... 30%,±2%

        對于R = 30 ... 75%,o±3%

        o±2%,R = 75 ...> 90%

         

        KrF,XeCl和XeF激光組件的技術參數

        Coating

        Materials

        Reflectance

        Damage threshold*

        Lifetime test

        HR (0°, 248nm)

        oxides

        > 99%

        10 J/cm2, 1 - on - 1,20ns 5 J/cm2, 1000 - on - 1

         

        HR (45°, 248nm)

        oxides

        > 99% (random pol.)

        10 J/cm2, 1 - on - 1,20ns

         

        HR (0°, 248nm)

        fluorides

        R > 98%

         

        2x108 pulses**

        PR (0°, 248nm)

        fluorides

        R = 50 ± 3%

         

        2x108 pulses**

        PR (0°, 248nm)

        fluorides

        R < 0.25%

         

        2x108 pulses**

        HR (0°, 308nm)

        fluorides

        R > 98%

         

        2x108 pulses***

        HR (0°, 351nm)

        fluorides

        R > 96%

         

        2x108 pulses***

        PR (0°, 351nm)

        fluorides

        R = 25 ± 3%

         

        2x108 pulses***

        *在Laser LaborGöttingen和Friedrich-SchillerUniversitätJena進行了測量

        **能量密度:100mJ / cm 2, 速率:100Hz,脈沖持續時間:15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進行測試

        ***能量密度:55 mJ / cm2, 速率:100Hz,脈沖持續時間:15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進行測試

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